High Quality, Quick Analysis
XPS 분석 전문회사
Type 분석타입
본사에서 제공하는 데이터는 CSV 확장자 파일로 엑셀이나 오리진 등에서 열어서 편집 할 수 있습니다.
또한 기본적인 분석은 분석리포트를 통해 제공하고 있습니다.
Survey
XPS 분석 데이터에는 크게 세 가지 타입의 데이터가 있습니다. 그 중에서 가장 기본이 되는 타입이 survey 입니다. Survey는 0eV~1200eV 구간의 결합 에너지를 약 1eV 간격으로 보여 줍니다. 이 survey 데이터를 얻음으로써 샘플을 구성하는 모든 원소를 알 수 있고 구성 비율 또한 분석 가능합니다.
Narrow
XPS 데이터를 이야기 할 때 는보통 Narrow 데이터를 말합니다. 모든 원소의 오비탈들은 고유한 결합에너지를 가지고 있고 각 원소의 대표적인 오비탈을 약 20eV 결합 에너지 구간에서 0.125eV 간격으로 측정하게 됩니다. Narrow 데이터를 통해서 원자들의 화합결합 상태와 상대적인 양을 분석 할 수 있습니다.
Depth profile
X-ray에 의해 발생되는 전자는 샘플 표면에서 약 5nm 정도 깊이에서 부터 튀어 나오게 됩니다. 그 이상의 깊이를 분석하기 위해서는 Ion gun sputtering을 통해 표면을 깍아 내면서 분석하게 됩니다. 한 번 깍을 때마다 narrow 데이터를 얻게 되며 최종 깊이까지 수 십개의 narrow 데이터를 얻게 되고 이를 모두 결합하여 profile 데이터를 만들게 됩니다. 많은 시간이 필요한 분석입니다.
SXI
Scanning X-ray image의 줄임말로 10um의 X-ray beam 사이즈를 활용하여 SEM 이미지와 같은 2차원 이미지를 얻을 수 있습니다. 미소 영역의 분석을 가능하게 합니다.
UPS(서비스 중지)
Ultra Violet photoelectron spectroscopy의 줄임말로 X-ray를 대신하여 샘플에 헬륨 플라즈마에서 나오는 자외선을 사용합니다. Fermi level과 Valence band 영역의 spectrum 을 얻을 수 있고 일함수(work function)측정에 많이 사용되는 분석입니다.