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XPS X-ray photoelectron spectroscopy 

  • XPS 분석에서는 X-ray를 샘플 표면에 조사하여 이 때 발생되는 전자들의 에너지를 검출하여 샘플의 성분과 성분의 양을 분석하게 됩니다.

  • 원자를 구성하고 있는 전자들은 각각 고유한 에너지를 갖고 있고 X-ray에 의해 원자에서 탈출하게 되는 전자들은 X-ray에너지에서 각자의 결합에너지 만큼을 뺀 나머지의 에너지를 갖고 샘플 표면을 나오게 됩니다.

  • 전자의 결합에너지는 사람의 지문처럼 고유하기 때문에 탈출하는 전자의 운동에너지를 측정하게 되면 샘플 표면의 구성 원소를 알 수 있게 됩니다.(정성분석)

  • 이렇게 샘플의 구성원소를 알 수 있을 뿐만 아니라 구성 원소의 많고 적고의 차이에 따라 발생되는 전자의 양도 달라지므로 이를 이용하여 상대적인 양까지 알 수 있게 됩니다.(정량분석)

System Specification

주기율표.jpg
  • X-ray: ​Monochromated Al kα 1486.6eV
     

  • Minimum energy resolution: ≤0.5eV
     

  • Minimum X-ray beam size: ≤10um
     

  • Sensitivity: ≥1Mcps and ≤1.0eV
     

  • Dual charge neutralization: ≤ 0.85eV on PET
     

  • Five axis motorized stage
     

  • Differential ion gun pumping

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